特許

J-GLOBAL ID：200903062552125283

投影レンズ系

発明者： 高橋浩一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-102358
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313845
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】 少ない枚数のレンズ構成によって、数μm以下の高い解像力と比較的広い露光領域とを両立できる高性能な投影レンズ系。【構成】 負の第1群Iと、正の第2群IIと、負の第3群IIIと、正の第4群IVとからなり、第1群Iは、物体側に凸面を向けた正の屈折力を有するレンズと、互いに凹面を向かい合わせた2つの負レンズと、これらの負レンズを間に挟んで互いに凹面を向かい合わせた2つの外側のメニスカスレンズとを有し、この外側のメニスカスレンズの中、少なくとも1つは負の屈折力を持つ接合レンズであり、第2群IIは少なくとも2つの正の屈折力のレンズからなり、第3群IIIは負の屈折力を持つ接合レンズからなり、第4群IVは少なくとも2つの正の屈折力のレンズと最も像面側に配置された負レンズとからなる。

請求項（抜粋）：

物体側より順に、負の屈折力の第1レンズ群と、正の屈折力の第2レンズ群と、負の屈折力の第3レンズ群と、正の屈折力の第4レンズ群とからなり、前記第1レンズ群は、物体側に凸面を向けた正の屈折力を有するレンズと、互いに凹面を向かい合わせた2つの負レンズと、これらの負レンズを間に挟んで互いに凹面を向かい合わせた2つの外側のメニスカスレンズとを有し、前記外側のメニスカスレンズの中、少なくとも1つは負の屈折力を持つ接合レンズであり、前記第2レンズ群は少なくとも2つの正の屈折力のレンズからなり、前記第3レンズ群は負の屈折力を持つ接合レンズからなり、前記第4レンズ群は少なくとも2つの正の屈折力のレンズと最も像面側に配置された負レンズとからなる、ことを特徴とする投影レンズ系。