特許

J-GLOBAL ID：200903062552654979

液晶表示体の検査装置

発明者： 阿部 祐一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098422
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062142
出願日： 1988年02月09日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】液晶表示体をプローブ端子に確実に接触させて液晶表示体を点灯させることにより、液晶表示体の特性を正確に目視検査することを目的とする。【構成】光源によってバックライトされた載置面を有すると共にLCD8を吸着する手段を有する検査部3と、複数枚のLCD8を収納したカセット9が載置されるローダ部2と、このローダ部2の前記カセット9からLCD8を取出し前記検査部3に受け渡す移送部14と、この移送部14でLCD8のプリアライメントを行うプリアライメント手段と、前記検査部3に吸着されたLCD8をプローブ端子19との接触位置に位置合わせする位置合わせ手段と、前記LCD8をプローブ端子19に接触させLCD8を点灯させて目視検査する顕微鏡6とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源によって照明された載置面を有すると共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複数枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置されるローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液晶表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この移送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリアライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示体をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合わせ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ液晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段とを具備したことを特徴とする液晶表示体の検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/84 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-112044
  
• 特開昭62-051237
  
• 特開昭62-204291