特許

J-GLOBAL ID：200903062566778158

露光用対物レンズ及び露光装置

発明者： 有馬 光雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-300143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126295
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 収差の発生を抑え、光学集光特性を改善する。光ディスクの高密度化(狭トラックピッチ化、狭エッチングパターニング化)に対応可能とする。【解決手段】 8群のレンズ群からなる露光用対物レンズである。光源側から順に第1レンズ群〜第8レンズ群が配列されている。第1レンズ群は負の屈折力を有する。第2レンズ群〜第8レンズ群は正の屈折力を有する。第2レンズ群〜第5レンズ群は接合レンズ成分からなる。入射側に負の屈折力を有する第1レンズ群を配置して入射光束を拡大し、後段に正の屈折力を有するレンズ群を配置することで、収差発生量が抑制され、開口数NA=0.9が実現される。第2レンズ群から第5レンズ群を接合レンズ成分とすることで、色収差及び球面収差が補正される。第8レンズ群の屈折率を他のレンズの屈折率よりも大きく設定すれば、球面収差及び非点収差が補正される。

請求項（抜粋）：

光源側から順に第1レンズ群乃至第8レンズ群が配列されてなり、第1レンズ群は負の屈折力を有するとともに、第2レンズ群乃至第8レンズ群は正の屈折力を有し、第2レンズ群乃至第5レンズ群は接合レンズ成分からなることを特徴とする露光用対物レンズ。

IPC (3件)：

G11B 7/135 ,  G02B 13/24 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G11B 7/135 A ,  G02B 13/24 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (24件)：

2H087KA00 ,  2H087LA01 ,  2H087PA08 ,  2H087PA16 ,  2H087PB12 ,  2H087QA03 ,  2H087QA07 ,  2H087QA19 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA31 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  5D119AA21 ,  5D119BA01 ,  5D119EC01 ,  5D119EC02 ,  5D119EC03 ,  5D119JA44 ,  5D119JB02 ,  5D119JB03 ,  5D119JB04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25