特許

J-GLOBAL ID：200903062571800030

露光方法及び装置

発明者： 石丸 秀行 ,  高本 健治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108006
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298839
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 ピット幅を細くかつピット長の長短によるピット幅の差を小さくできて高密度記録に対応できる露光方法及び装置を提供する。【解決手段】 記録パターンに応じた記録信号パルスにより強度変調されたレーザ光Lを、回転する基板16上の感光層16aに照射して露光する露光方法において、記録信号発生器18からの各記録パターンに応じた記録信号パルスを、記録信号変換器19にて複数の短パルスに分割し、各短パルスの振幅、パルス幅、パルス立ち上がりタイミングを記録信号パルスのパルス幅に応じて設定し、この記録信号変換器19からの電気信号E2により光変調器7にてレーザ光Lを変調するようにした。

請求項（抜粋）：

基板上の感光層に、記録パターンに応じた記録信号パルスにて強度変調された光ビームを照射して露光する露光方法において、各記録パターンに応じた記録信号パルスを複数の短パルスに分割し、各短パルスの振幅、パルス幅、パルス立ち上がりタイミングを記録信号パルスのパルス幅に応じて設定することを特徴とする露光方法。

IPC (3件)：

G11B 7/0045 ,  G11B 7/26 ,  G03F 7/20 505

FI (3件)：

G11B 7/00 631 A ,  G11B 7/26 ,  G03F 7/20 505

Fターム (16件)：

2H097AA03 ,  2H097AB07 ,  2H097BB02 ,  2H097CA17 ,  2H097FA03 ,  2H097FA06 ,  2H097LA20 ,  5D090AA01 ,  5D090BB01 ,  5D090DD03 ,  5D090DD05 ,  5D090FF11 ,  5D121AA01 ,  5D121AA03 ,  5D121BB26 ,  5D121BB38