特許
J-GLOBAL ID：200903062587258960
X線検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-005916
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222599
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】 益々微細化の傾向にあるICデバイスやその他のデバイスなどの被検査対象物を斜め方向から高倍率で観察できるX線検査装置を提供すること。【解決手段】 X線発生面4bの実質的に点状のX線源4aから所定の広がり角度を持ってX線を発生するX線発生器3と、X線発生器3から発生されるX線が照射される被検査対象物2を保持する被検査対象物保持機構30と、被検査対象物2に照射されたX線の透過光の画像を検出するX線検出面14aを持ち、点状のX線源4aからX線検出面14aに略垂直に下ろした仮想直線Vに沿って、X線源4aからX線検出面14aの中心までのFDD距離と、X線源4aから被検査対象物2までのFOD距離との比により規定される拡大倍率で、被検査対象物2の要部を拡大して画像を検出するX線像センサ15と、X線発生器3のX線源4aから所定の広がり角度を持って発生するX線の中心軸Lと仮想直線Vとの角度が変化するように、X線発生器3を回動自在に保持する枠体20とを有する。
請求項（抜粋）：
X線発生面の実質的に点状のX線源から所定の広がり角度を持ってX線を発生するX線発生器と、前記X線発生器から発生されるX線が照射される被検査対象物を保持する被検査対象物保持機構と、前記被検査対象物に照射されたX線の透過光の画像を検出するX線検出面を持ち、前記点状のX線源から前記X線検出面に略垂直に下ろした仮想直線に沿って、前記X線源から前記X線検出面の中心までのFDD距離と、前記X線源から被検査対象物までのFOD距離との比により規定される拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するX線像センサと、前記X線発生器のX線源から所定の広がり角度を持って発生するX線の中心軸と前記仮想直線との角度が変化するように、前記X線発生器を回動自在に保持する枠体とを有し、前記被検査対象物保持機構は、前記被検査対象物を前記X線発生器の回動角度に応じて前記検査対象物の保持角度を変化させる回動保持機構と、前記FOD距離を変化させることができるように前記被検査対象物を移動させる移動機構と有するX線検査装置。
Fターム (14件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA08
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 2G001PA16
