特許
J-GLOBAL ID：200903062587850916
研削加工用キャリア
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267461
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084834
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】【課題】 固定砥粒による両面同時研削時に発生するガラス基板の外周部の損傷を抑制することができ、製品の歩留まりや再現性の向上に寄与することができる研削加工用キャリアを提供する。【解決手段】 固定砥粒で形成された上定盤及び下定盤との間にキャリアにより保持されたガラス基板を挟み込み、上下定盤により圧力と回転運動を加えて、ガラス基板の両面を研削するために用いる研削加工用キャリア13である。キャリアの保持孔13aの直径bを、ガラス基板15の直径aよりも0.4〜2.0mm大きくする。
請求項（抜粋）：
固定砥粒で形成された上定盤及び下定盤との間にキャリアにより保持されたガラス基板を挟み込み、上下定盤により圧力と回転運動を加えて、前記ガラス基板の両面を研削するために用いる研削加工用キャリアであって、前記キャリアの保持孔の直径を、ガラス基板の直径よりも0.4〜2.0mm大きくすることを特徴とする研削加工用キャリア。
Fターム (11件)：
3C058AA04
, 3C058AA18
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058CA06
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058CB05
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA18
