特許
J-GLOBAL ID：200903062597933550
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-038564
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136219
出願日： 1991年03月05日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 多品種少量生産においても、半導体ウエハの状態における半導体デバイスの検査を、従来に較べて効率よく実施することができ、生産効率の向上を図ることのできる検査装置を提供する。【構成】 検査装置1には、複数台の検査機構2が設けられている。これらの検査機構2の列の中央には、直線状に搬送部3が設けられており、搬送部3の一端には、ストッカー4が設けられている。このストッカー4には、ウエハカセット収容部4aとプローブカード収容部4bが設けられている。そして、搬送部3によって、ストッカー4内の半導体ウエハ5およびプローブカード6を各検査機構2に搬送して半導体ウエハ5に形成された半導体デバイスの電気的特性の検査を実施する。
請求項（抜粋）：
プロ-ブカードに設けられたプローブを、被検査物に接触させて電気的な検査を実施するとともに、前記プロ-ブカードの装着を自動的に実施する複数の検査機構と、前記被検査物を収容する被検査物収容部と前記各検査機構との間で前記被検査物を搬送する被検査物搬送機構と、前記プロ-ブカードを収容するプロ-ブカード収容部と前記各検査機構との間で前記プロ-ブカードを搬送するプロ-ブカード搬送機構とを具備したことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/68
