特許

J-GLOBAL ID：200903062604138206

洗浄装置

発明者： 尾林 美紀
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-203818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036076
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 ウェハ表面を適正且つ確実に洗浄すると共に、高い洗浄効率を実現する洗浄装置を提供する。【解決手段】 被洗浄物2の表面をスクラブ洗浄するための洗浄装置であって、被洗浄物表面に接触しながら回転するように配置された第1のブラシ10と、第1のブラシ10の所定部位に接触しながら回転するように配置された第2のブラシ13と、を備えている。第1のブラシ10及び第2のブラシ13の接触部が、被洗浄物2から離隔した位置に設定される。第1のブラシ10及び第2のブラシ13の接触部の上方に配置された洗浄液ノズル14と、接触部の至近位置に配置された吸引ノズル16,17と、を有する。第2のブラシ13を回転させることにより、第1のブラシ10に付着した異物を除去することができる。

請求項（抜粋）：

被洗浄物表面をスクラブ洗浄するための洗浄装置であって、前記被洗浄物表面に接触しながら回転するように配置された第1のブラシと、前記第1のブラシの所定部位に接触しながら回転するように配置された第2のブラシと、を備え、前記第1のブラシ及び前記第2のブラシの接触部が、前記被洗浄物から離隔した位置に設定されることを特徴とする洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 B ,  H01L 21/304 341 N ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/02 B