特許
J-GLOBAL ID：200903062608191977
積層圧電素子及びその製造方法並びに分極処理方法、及び超音波モータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267551
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120580
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 円板状の圧電素子を個々に形成し、分極処理を施す場合は、分極処理等に時間を要したり、圧電セラミックスにある程度の厚みを必要としていたが、このような問題を解決した積層圧電素子を提供する。【構成】 圧電セラミックス材料からなるシート2〜6の積層により構成され、シート2にのみ上面と下面に夫々第1分割電極膜8-1と、第2分割電極膜8-2を設け、シート4と6には分割電極膜のみ上面に設け、シート3、5は全面電極膜7’のみ上面に設け、上下のシートに設けた電極膜を共用するようにしている。また、第1分割電極膜8-1は導電穴9bに臨み、第2分割電極膜8-2は導電穴9a、全面電極膜7,7’は導電穴9c,9dに臨み、これらシートを所定の位相を有して上下方向に積層すると、電極膜を共通とする導電穴が夫々繋がり、貫通孔10-1〜10-3が形成され、そこに導電ペーストを充填することで各電極膜の導電部が形成される。
請求項（抜粋）：
片面側にのみ複数の分割電極膜を形成した第1の圧電素子部と、片面側にのみ全面電極膜を形成した第2の圧電素子部とをその電極膜形成面を上向きにして互い違いに重ね合わせると共に、最下層には下面に全面電極膜が形成され、上面に複数の分割電極膜の形成された圧電素子部を配置し、各層の上面の電極膜はその上の層の下面の電極膜と共用し、これら圧電素子部はその各分割電極膜の位相を一致させるようにして重ね合わせて積層され、積層方向において同位相の分割電極膜同士を導電させ、且つ互いに非導電状態としている複数の分極膜用導電部と、該各全面電極膜同士を導電させた全面電極膜用導電部を有し、該複数の分極膜用導電部および該全面電極膜用導電部は、複数の圧電素子部の厚み方向に形成された導電用の穴部に形成されていることを特徴とする積層圧電素子。
IPC (3件)：
H01L 41/09
, H01L 41/24
, H02N 2/00
H01L 41/08 Q
, H01L 41/22 B
, H01L 41/22 Z
