特許

J-GLOBAL ID：200903062612636525

放電励起ガスレーザ装置

発明者： 美濃部 猛 ,  美安 勝置 ,  本 篤志
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010417
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203411
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 組み立てが容易でクロスフローファンの軸受けの軸合わせを高精度に行うことができ、また、風の流速分布の均一性を向上、振動の発生を低減化することができる放電励起ガスレーザ装置を提供すること。【解決手段】 レーザチェンバ本体1の両端部の開口部分の内周に段差部1eを形成し、2枚の板状部材3f,3gを上記段差部1eの段差面に係合させて位置決めし、2枚の板状部材3f,3gによりクロスフローファン3の回転軸を支持する。これにより剛性を高めることができ、また風の流速分布の均一性を向上させることができる。また、上記2枚の板状部材3f,3gを各々複数の板状部材に分割し、分割された板状部材の内の2枚の板状部材とクロスフローファンとによりファンモジュールを仮組みして、レーザチェンバ本体1に取付けることにより作業効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

レーザガスが封入されるレーザチェンバと、このレーザチャンバ内に設置された所定間隔だけ離間して対向した一対の電極と、レーザガスを上記電極間を流れる循環流とするクロスフローファンとを備え、上記クロスフローファンの回転軸を対向する2枚の板状部材により支持したガスレーザ装置であって、上記レーザチェンバは、両端部に開口を有し、その開口部分の内周に段差が形成された段差構造であり、上記クロスフローファンの回転軸を支持する2枚の板状部材を上記段差に係合させて位置決めすることにより、該2枚の板状部材の平行度を確保するとともに、該2枚の板状部材の相対的位置を規制したことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。

Fターム (4件)：

5F071AA06 ,  5F071DD08 ,  5F071EE04 ,  5F071JJ05