特許
J-GLOBAL ID：200903062615466582
マイクロメカニカル静電振動子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-181055
公開番号（公開出願番号）：特開2006-005731
出願日： 2004年06月18日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】 マイクロメカニカル静電振動子の振動子性能の向上と製造の容易化を図る。【解決手段】 本発明は、可動電極31と、可動電極を両側支持する支持アーム32,33と、可動電極に対向する加振電極34,35とを具備し、可動電極と加振電極は相互に噛合する態様で対向配置される櫛歯状電極であり、可動電極は、支持アーム間を結ぶ方向に伸びるとともにその両端が支持アームに接続された基部を有し、一対の支持アームは、基部の延長線に沿って、固定部32a,33aに接続される第1アーム部32b,33bと、可動電極に接続される第2アーム部32d,33dと、第1アーム部と第2アーム部とを接続する中間アーム部32c,33cとが直線状に配置されてなり、第1及び第2アーム部が可動電極の基部よりも高い可撓性を有し、かつ、中間アーム部が第1及び第2アーム部よりも低い可撓性を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
可動電極と、該可動電極を両側で支持する一対の支持アームと、前記可動電極に対向する加振電極とを具備するマイクロメカニカル静電振動子であって、
前記可動電極と前記加振電極は相互に噛合する態様で対向配置される櫛歯状電極であり、
前記可動電極は、前記一対の支持アーム間を結ぶ方向に伸びるとともにその両端が前記一対の支持アームに接続された基部を有し、
前記一対の支持アームは、前記基部の延長線に沿って、固定部に接続される第1アーム部と、前記可動電極に接続される第2アーム部と、前記第1アーム部と前記第2アーム部とを接続する中間アーム部とが直線状に配置されてなり、
前記第1アーム部及び前記第2アーム部が前記可動電極の前記基部よりも高い可撓性を有し、かつ、前記中間アーム部が前記第1アーム部及び前記第2アーム部よりも低い可撓性を有することを特徴とするマイクロメカニカル静電振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/24
, B06B 1/02
, B81B 3/00
H03H9/24 Z
, B06B1/02 Z
, B81B3/00
5D107AA05
, 5D107AA14
, 5D107DD11
, 5D107DE02
, 5D107EE06
, 5D107FF07
, 5D107FF09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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