特許

J-GLOBAL ID：200903062619033265

スペーサ散布方法及びその装置

発明者： 佐々木 健
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-213704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034982
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 スペーサ材粒子の散布において、スペーサ材粒子が凝集することを防止する。【構成】 スペーサ材粒子をチャンバ内に噴出させるためのガスをイオン化装置3にて帯電させることで、散布装置の配管系とスペーサ材粒子が同一極性に帯電する。これによりスペーサ材粒子間に電気的な斥力が働き凝集が起こりにくくなる。また配管内壁にスペーサ材粒子が付着しにくいので、更に凝集塊が発生しにくい。

請求項（抜粋）：

絶縁体からなる直径数ミクロン〜10数ミクロンの球状または円柱状のスペーサ材粒子を液晶表示素子基板上に散布するスペーサ散布方法であって、スペーサ材粒子は、ガスで圧送し、これをノズルより噴射させて散布するものであり、スペーサ材粒子とガスとは、同一極性に帯電させることを特徴とするスペーサ散布方法。