特許

J-GLOBAL ID：200903062628151246

表面加工方法、光起電力発生装置の製造方法及び製造装置

発明者： 浅野 伸 ,  茂中 俊明 ,  田原 諭 ,  舩山 正宏 ,  後藤 崇之
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-048677
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252212
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 被加工物の表層部分に存在する欠陥を被加工物に損傷を与えることなく除去できる表面加工方法、光起電力発生装置の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 反応ガス雰囲気中で放電電極と被加工物との間に高周波電力を印加して放電プラズマを生じさせ、該放電プラズマの作用により被加工物の表面に反応生成物を形成するプラズマ表面処理工程と、局所的加熱手段により被加工物の表面を局所的に加熱して前記反応生成物を被加工物の表面から脱離させる局所加熱工程とを具備する。

請求項（抜粋）：

反応ガス雰囲気中で放電電極と被加工物との間に高周波電力を印加して放電プラズマを生じさせ、該放電プラズマの作用により被加工物の表面に反応生成物を形成するプラズマ表面処理工程と、局所的加熱手段により被加工物の表面を局所的に加熱して前記反応生成物を被加工物の表面から脱離させる局所加熱工程と、を具備することを特徴とする表面加工方法。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/02

FI (2件)：

C23F 4/02 ,  H01L 21/302 B

Fターム (37件)：

4K057DA02 ,  4K057DB05 ,  4K057DD01 ,  4K057DD06 ,  4K057DE01 ,  4K057DE02 ,  4K057DE06 ,  4K057DE08 ,  4K057DE14 ,  4K057DM06 ,  4K057DM09 ,  4K057DM37 ,  4K057DM38 ,  4K057DM39 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  5F004AA14 ,  5F004BA19 ,  5F004BA20 ,  5F004BB03 ,  5F004BB26 ,  5F004BB32 ,  5F004CA05 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA18 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23 ,  5F004DA24 ,  5F004DB01 ,  5F004DB09 ,  5F004EA38 ,  5F004EB02 ,  5F004EB04 ,  5F004FA01