特許
J-GLOBAL ID：200903062628896810
熱式空気流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164319
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009924
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】ダイナミックレンジ及び対ノイズ性を改善した熱式空気流量計を提供する。【解決手段】熱式空気流量計は、上面を電気絶縁膜10で塞がれて下面に開口している空洞3を有する半導体基板2と,空洞上の部位の電気絶縁膜上に形成された測温抵抗体4と該測温抵抗体を中に被測定流体の上下流側に振り分けられている一対の発熱抵抗体5及び6と,空洞部上以外の部位の電気絶縁膜上に形成された流体温度測温抵抗体7とからなる測定素子1と、測温抵抗体4と流体温度測温抵抗体7の温度差を一定に保つように各発熱抵抗体に加熱電流を流す加熱制御手段と、各発熱抵抗体の温度差に基づいて被測定流体の流れ方向を検知する方向検知手段と、各発熱抵抗体の温度差または各発熱抵抗体に流す電流値に基づいて被測定流体の流量を検知する流量検知手段とから構成される。
請求項（抜粋）：
上面を電気絶縁膜で塞がれて下面に開口している空洞を有する半導体基板と、前記空洞上の部位の前記電気絶縁膜上に形成された測温抵抗体および該測温抵抗体を中に被測定流体の上下流側に振り分けられている一対の発熱抵抗体と、前記空洞部上以外の部位の前記電気絶縁膜上に形成された流体温度測温抵抗体とを有する測定素子と、前記測温抵抗体と前記流体温度測温抵抗体の温度差を一定に保つように前記各発熱抵抗体に加熱電流を流す加熱制御手段と、前記各発熱抵抗体の温度差に基づいて前記被測定流体の流れ方向を検知する方向検知手段と、前記各発熱抵抗体の温度差または前記各発熱抵抗体に流す電流値に基づいて前記被測定流体の流量を検知する流量検知手段とから構成することを特徴とする熱式空気流量計。
IPC (3件)：
G01F 1/68
, F02D 35/00
, G01P 5/12
G01F 1/68
, G01P 5/12 C
, F02D 35/00 366 E
