特許
J-GLOBAL ID：200903062631467491
はんだバンプ形成方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-209415
公開番号（公開出願番号）：特開平8-056071
出願日： 1994年08月11日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 基板にはんだバンプを形成する際に、はんだボールを基板の接続部に合理的にしかも正確に載置するとともに、はんだボールを基板に接合後は基板を洗浄する必要がなく、基板上のマスクを除去するだけではんだバンプが形成できる。【構成】 基板1の接続部2にマスク9の穴8を一致させてマスクを乗せ、該穴の中にはんだボール4を挿入してから、マスクごと基板を蟻酸ガスのような活性ガスと窒素ガスの混合ガス11が充填されたリフロー炉6で加熱して、はんだボールを溶融させ、基板上にはんだバンプを形成させる。
請求項（抜粋）：
基板の接続部と同一箇所に穴が穿設されたマスクを基板に載置するとともに、基板の接続部とマスクの穴とを一致させて重ね合わせた後、マスクの全ての穴にマスクの直径よりも少し小さな径のはんだボールを挿入し、その後、マスクが載置された基板を活性ガスと不活性ガスの混合ガスで満たされた加熱炉中で加熱してはんだボールを溶融させることにより基板の接続部にはんだを接合させることを特徴とするはんだバンプ形成方法。
IPC (2件)：
H05K 3/34 505
, H05K 3/34 502
