特許

J-GLOBAL ID：200903062635500779

自動ウェーハめっき装置

発明者： 谷口 和広
出願人/特許権者： 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社
代理人 (1件)： 高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011189
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204690
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】ウェーハのめっき処理を自動的に行なえるウェーハめっき装置、特に小ロットでのウェーハのめっき処理を自動的に行なうのに適するウェーハめっき装置の提供。【解決手段】回動、上下動及び伸縮が可能な把持アーム8を有する搬送ロボット2、ロードステージ3、向き合わせステージ4、めっきステージ5、回収ステージ6、及び洗浄ステージ7を備える。そして搬送ロボットが以下の動作を各ウェーハごとに順次繰り返し、これにより各ウェーハに一連のめっき関連処理を施す。ロードステージに載置の供給用カセットからウェーハを1枚ずつ把持して取り出す。このウェーハを向き合わせステージに供給する。向き合わせステージで向き合わせ済のウェーハをめっきステージに供給する。めっきステージでめっき済のウェーハを回収ステージに供給する。回収ステージでめっき液の回収処理を終えたウェーハを洗浄ステージに供給する。

請求項（抜粋）：

供給用のカセットに納めて供給される複数枚のウェーハに対し、カセットからウェーハを一枚ずつ取り出しながら、一連の処理を順次的に施すようになっている自動ウェーハめっき装置であって、水平方向で伸縮可能とした把持アームを上下動可能に且つ上下動軸を中心とした回動動作可能にして有する搬送ロボットを備え、またこの搬送ロボットを囲むように且つ前記把持アームの最大伸長時に当該把持アームの先端部の把持部が到達可能な範囲内にそれぞれ位置させて配したロードステージ、向き合わせステージ、めっきステージ、回収ステージ、及び洗浄ステージを備えており、そして搬送ロボットがその把持アームにおける回動動作、上下動動作及び伸縮動作の組み合わせにより、ロードステージに載置の供給用カセットからウェーハを1枚ずつ把持して取り出す動作、このウェーハを搬送して向き合わせステージに供給する動作、向き合わせステージで向き合わせ済のウェーハを搬送してめっきステージに供給する動作、めっきステージでめっき済のウェーハを搬送して回収ステージに供給する動作、及び回収ステージでめっき液の回収処理を終えたウェーハを搬送して洗浄ステージに供給する動作を各ウェーハごとに順次繰り返すようにしてなる自動ウェーハめっき装置。

IPC (3件)：

C25D 17/06 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288

FI (4件)：

C25D 17/06 C ,  C25D 17/06 D ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288 Z