特許

J-GLOBAL ID：200903062648119969

半導体ウェハ検出装置

発明者： 桂 寛 ,  森山 照規
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088381
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283603
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 カセットに収納されている半導体ウェハの有無、高さ位置、傾きを正確に検出できる半導体ウェハ検出装置を提供すること。【解決手段】 半導体ウェハW画収納されるカセット1の両側に、発光部4と受光部5を有する昇降アームが上下移動可能に配設されている。発光部4には発光手段としてのLED14とLEDから発射される光を平行光に変換するレンズ15とが配設され、受光部5には平行光を集光するレンズ16と画像入力装置としてのCCDラインセンサ17が配設されている。そして、LED14から発射される光の光軸上にレンズ15、レンズ16、半導体ウェハW、レンズ16、CCDラインセンサ17が配置され、LED14から発射される光は、半導体ウェハWの像をCCDラインセンサ17に写し出す。半導体ウェハWの全体像が画像入力され、昇降アームがカセット1の下端から上端まで1往復することによって、全ての半導体ウェハWの位置等を正確に検出する。

請求項（抜粋）：

少なくともカセットに収納される半導体ウェハの有無あるいはその位置を検出するために、発光手段と受光手段を備えてなる半導体ウェハ検出装置であって、前記受光手段に画像入力装置が配設され、前記発光手段から発射される光が、前記受光手段に投射され、前記半導体ウェハを前記画像入力装置に写し出すように構成されることを特徴とする半導体ウェハ検出装置。