特許
J-GLOBAL ID：200903062659290996
透明導電膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027050
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233468
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルタを設けたガラス基板の少なくともカラーフィルタ上や、有機物基板上に、基板の温度が低温でも低抵抗率の透明導電膜を密着性良く形成できる透明導電膜の形成方法の提供。【構成】 有機材料よりなるカラーフィルタが設けられたガラス基板18表面にイオンガン4を用いて発生させたイオンを照射した後、アーク放電によって発生させたアーク放電プラズマ19を透明導電膜を形成するための蒸着原料上に収束させて該蒸着原料を蒸発させ、少なくとも上記カラーフィルタ上に蒸着原料を付着させることを特徴とする透明導電膜の形成方法。【効果】 密着性の良い透明導電膜を得ることができるので、パターニング時の剥離が防止できる。基板の温度が200°C程度の低温においても抵抗率が低い透明導電膜を得ることができるとともに成膜速度が速いので成膜時間が大幅に短縮されて、生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
有機材料よりなるカラーフィルタが設けられたガラス基板表面にイオンガンを用いて発生させたイオンを照射した後、アーク放電によって発生させたアーク放電プラズマを透明導電膜を形成するための蒸着原料上に収束させて該蒸着原料を蒸発させ、少なくとも前記カラーフィルタ上に蒸着原料を付着させることを特徴とする透明導電膜の形成方法。
IPC (5件)：
C23C 14/32
, C23C 14/08
, G02F 1/1335 505
, H01L 21/203
, G02F 1/1343
