特許

J-GLOBAL ID：200903062660516795

シリコンの精製方法及びその装置

発明者： 阪口 泰彦 ,  荒谷 復夫 ,  湯下 憲吉 ,  馬場 裕幸
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-246706
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 ボロン含有量の低い高純度の太陽電池用のシリコンを短時間に、安価に、大量に製造することのできるシリコンの精製方法及びその装置の提案。【構成】 シリカを主成分とする容器内に溶融シリコンを保持し、該溶融シリコンと上部に設けた電極間にアークをとばすとともに、該容器の底部より、不活性ガス、望ましくは酸化性ガスを添加して吹込む。

請求項（抜粋）：

シリカあるいはシリカを主成分とする容器内に溶融シリコンを保持し、該溶融シリコンを一方の極とし、上部のアーク電極をもう一方の極として該電極間でアークをとばすとともに、該容器の底部及び/又は周辺部より不活性ガスを吹き込むことを特徴とするシリコンの精製方法。

IPC (2件)：

C01B 33/037 ,  H01L 31/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-016504
  
• 特開平1-176211
  
• 特開昭60-075534