特許

J-GLOBAL ID：200903062661680955

流体圧力アクチュエータ

発明者： 野崎 美紀也 ,  唐木 満尋 ,  神村 敏夫 ,  乾 満
出願人/特許権者： 帝人製機株式会社 ,  トヨタ自動車株式会社 ,  岐阜精機工業株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214763
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074811
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】 センサと作動流体とが直接接触することのないセンサを内蔵した流体圧力アクチュエータを提供する。【構成】 シリンダ11の一端はカバーフランジ12によって密閉され、ピストン13によって2つの圧力室11A、11Bに仕切られ、作動流体の供給排出によりピストンが駆動される。ピストンにはカバーフランジに対向する面に開口する孔が形成され、カバーフランジに固定されるセンサ固定部21がシール性を保持しつつピストンの孔10に挿入される。ピストンの孔に底部にはセンサ移動部22が固定されており、ピストンの移動変位、速度はセンサ固定部と移動部との相対変位、速度として検出される。また貫通孔31、32を介してセンサを強制冷却することも可能である。

請求項（抜粋）：

シリンダと、前記シリンダの一端を密閉するカバーフランジと、前記シリンダの内部に移動可能に挿入され、前記シリンダを相互にシールされた2つの圧力室に仕切り、前記カバーフランジと対向する面に開口する孔が形成され、前記シリンダの他の一端を貫通して延伸するピストンと、前記カバーフランジに固定され前記ピストンに形成された孔内にシール性を保持して挿入された固定部と、前記ピストンに取り付けられた移動部と、の相対変位あるいは相対速度に応じた信号を出力する内蔵センサと、を具備する流体圧力アクチュエータ。