特許
J-GLOBAL ID：200903062662738701
有害ガスの分解方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-262035
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光による光分解処理よりも、有害ガスの光化学反応分解を低コストで実現させ、かつ効率の良い分解を行わせる。【構成】 マイクロ波発生器と、発生したマイクロ波が導入されるマイクロ波共振器により形成された分解反応槽とを設けている。この分解反応槽に放電管を取り付けるとともに、フッ素ガスからなるランプガスの供給管とフロンガスなど有害ガスの通流経路を接続している。反応槽にてマイクロ波をエネルギ源としフッ素ガスを発光源としたエキシマ光を発生させ、同時に反応槽内に導入されたフロンガス等の有害ガスを、発光したエキシマ光の光エネルギにより分解させるものとしている。
請求項（抜粋）：
マイクロ波をエネルギ源とするエキシマ光若しくはランプ光を発するエキシマランプ若しくはフッ素ランプの発光ガス内に、フロンガス等の有害ガスを導入し、発光したエキシマ光若しくはフッ素ランプ光の光エネルギにより有害ガスを分解させることを特徴とする有害ガスの分解方法。
IPC (2件)：
B01D 53/34 134
, B01D 53/34 ZAB
