特許

J-GLOBAL ID：200903062665210899

光計測装置及び分光装置

発明者： 菅原 俊樹 ,  白井 正敬
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (3件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助 ,  佐々木 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-365720
公開番号（公開出願番号）：特開2005-127943
出願日： 2003年10月27日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】分光装置を使用した光計測装置の波長分解能を向上する。【解決手段】高波長分散の平行干渉計(A)と低波長分散の回折格子(B)をそれぞれの波長分散方向が直交するように組合せ分光装置を構成し、分光装置で、2次元的に広がった光を2次元アレイ型光検出部(50)を設け、光計測装置を構成する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

波長分散特性を持つ平行干渉分光計と、該平行干渉分光計より小さい波長分散特性を有する分散素子とが、一定距離離れた位置に平行干渉分光計の波長分散方向と分散素子の波長分散方向が異なる方向に配置されたことを特徴とする分光装置。

IPC (4件)：

G01J3/36 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/26

FI (4件)：

G01J3/36 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/26

Fターム (27件)：

2G020AA03 ,  2G020BA20 ,  2G020CB04 ,  2G020CC02 ,  2G020CC13 ,  2G020CC23 ,  2G020CC63 ,  2G020CD14 ,  2G020CD31 ,  2G020CD39 ,  2G020CD51 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE10 ,  2G059FF01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ06 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK04 ,  2G059MM14 ,  2G059NN01 ,  2G059NN02