特許

J-GLOBAL ID：200903062668058885

マイクロメカニズムの構成部材

発明者： シュテファン ピンター ,  フランク フィッシャー ,  アーノルト ルンプ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ,  マックス-プランク-ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・ヴィッセンシャフテン・エー・ファオ
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-324089
公開番号（公開出願番号）：特開2002-207048
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】 ダブルU字形ばね4によってばね弾性的に支承されて外部加速で変位可能、即ち振動可能な質量装置1を備えるマイクロメカニズムの構成部材、殊に加速度センサー若しくは回転量センサー又はマイクロマシンにおいて、構成部分若しくは構成素子間の過度な変位による付着若しくは永続的な変位を避ける。【解決手段】 ダブルU字形ばねの変位の制限のための少なくとも1つのネップ状ストッパN,N′が所定の箇所、例えば最大変位の生じる箇所に設けられている。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニズムの構成部材であって、少なくとも1つのダブルU字形ばね(4)によってばね弾性的に支承された振動可能な質量装置(1)を備えており、質量装置が外部からの加速によって少なくとも1つの方向に変位可能である形式のものにおいて、ダブルU字形ばね(4)の変位の制限のための少なくとも1つのネップ状ストッパ(N,N′)が設けられていることを特徴とするマイクロメカニズムの構成部材。

IPC (5件)：

G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (13件)：

2F105AA02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB07 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112FA08