特許
J-GLOBAL ID：200903062671035209
赤外線センサ、および、その製造方法
カマルゴ エジソン ゴメス
カマルゴ エジソン ゴメス について
出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社
旭化成エレクトロニクス株式会社 について
代理人 (1件)： 谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-268724
公開番号（公開出願番号）：特開2007-081225
出願日： 2005年09月15日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 特別な冷却装置を必要とせず、人体の発する赤外線を高感度に効率良く検出すること。【解決手段】 所定の開口率を得るための単一センサを構成する非検出部の面積に対する検出部の面積の比率が所定の値となるように、単一センサを構成する検出部および非検出部の平面形状を、直角以下の角度を持たない五角形以上の多角形状に形成すると共に、支持基板上の同一行での互いに隣接する2つの単一センサ間の接続においては、該上流側の単一センサの非検出部と該下流側の単一センサの検出部とが直列接続されるように配線し、支持基板上の同一列での互いに隣接する2つの単一センサ間に配置においては、一方の行の単一センサを構成する検出部と、他方の行の単一センサを構成する非検出部とを交互に配置する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持基板と、
その上に形成された最上部層が上部電極領域とされた多層の半導体薄膜からなる検出部と、
前記検出部の周辺領域に電気的に分離して設けられ、該検出部を構成する最下部層の半導体薄膜の一部が下部電極領域とされた非検出部と
からなる単一センサを具え、
所定の開口率を得るための該単一センサを構成する前記非検出部の面積に対する前記検出部の面積の比率が所定の値となるように、該単一センサを構成する前記検出部および前記非検出部の平面形状は、直角以下の角度を持たない五角形以上の多角形状に形成され、
該複数個の単一センサを、前記支持基板上で上流側の電極パッド部から下流側の電極パッド部へ向かう所定の順方向に沿って、かつ、複数行に渡って繰り返して直列接続する配線構造において、
該支持基板上の同一行での互いに隣接する2つの単一センサ間の接続においては、該上流側の単一センサの非検出部と該下流側の単一センサの検出部とを直列接続するように配線し、
該支持基板上の同一列での互いに隣接する2つの単一センサ間に配置においては、一方の行の単一センサを構成する検出部と、他方の行の単一センサを構成する非検出部とを交互に配置するようにしたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
Fターム (26件)：
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA02
, 2G065BA34
, 2G065BE08
, 2G065DA20
, 2G066AC13
, 2G066BA13
, 2G066BA55
, 2G066BB20
, 2G066CA02
, 2G066CA08
, 5F088AA02
, 5F088AB07
, 5F088BA01
, 5F088BA15
, 5F088BA20
, 5F088BB06
, 5F088CB06
, 5F088CB14
, 5F088DA01
, 5F088EA04
, 5F088EA14
, 5F088FA05
, 5F088GA03
, 5F088LA01
引用特許：
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