特許

J-GLOBAL ID：200903062677230879

走査プローブ顕微鏡

発明者： 中村 直樹
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-189957
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004621
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 試料表面の凹凸形状に加えて、試料表面の化学組成および化学結合状態についての情報を得ることができる走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料表面と走査プローブとの相互作用力を検知して試料表面の形状を画像化する走査プローブ顕微鏡において、上記走査プローブとして、試料表面へ電子線を照射する機能を有する走査プローブと、試料表面の電子線照射スポットから発生したガスの質量スペクトル、赤外吸収スペクトルおよび発光スペクトルのいずれかを測定する検出手段と、上記測定結果をマッピングすることにより試料表面の化学組成および化学結合状態を画像化する手段とを備える。

請求項（抜粋）：

試料表面と走査プローブとの相互作用力を検知して試料表面の形状を画像化する走査プローブ顕微鏡において、上記走査プローブとして、試料表面へ電子線を照射する機能を有する走査プローブと、試料表面の電子線照射スポットから発生したガスの質量スペクトル、赤外吸収スペクトルおよび発光スペクトルのいずれかを測定する検出手段と、上記測定結果をマッピングすることにより試料表面の化学組成および化学結合状態を画像化する手段と、を備えたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (8件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/62 ,  G01N 21/65 ,  G01N 27/62 ,  G01N 30/62

FI (8件)：

G01N 13/10 H ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 A ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/62 A ,  G01N 21/65 ,  G01N 27/62 L ,  G01N 30/62 E

Fターム (32件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG08 ,  2F069GG56 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ05 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043CA01 ,  2G043CA05 ,  2G043EA03 ,  2G043EA11 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043GB21 ,  2G043JA01 ,  2G043LA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059KK01