特許

J-GLOBAL ID：200903062683315800

露光装置

発明者： 佐野 直人 ,  朝比奈 努
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062876
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 パルスレーザを複数回パルス発光させることにより原板上のパターンを基板上に投影露光する露光装置において、適正な露光量で常に安定した露光を行う。【構成】 パルスレーザを複数回パルス発光させることにより原板R上のパターンを基板W上に投影露光する露光装置において、設定された制御パラメータに応じた発光強度でパルスレーザ1をパルス発光させるパルスレーザ出力制御手段8と、パレスレーザ1のパルス毎の露光量を検出する露光量検出手段と、この露光量検出手段により検出したパルス量の露光量を積算する露光量積算手段と、積算された露光量から残露光量とその残パルス平均エネルギを演算する演算手段とを具備し、残露光量の1パルス当たりの平均エネルギと前露光時の1パルス露光量とをパルス毎に比較し、次露光時の1パルス露光量が前記平均エネルギに一致するようにパルスエネルギ出力制御手段により制御パラメータを変化させる。

請求項（抜粋）：

パルスレーザを複数回パルス発光させることにより原板上のパターンを基板上に投影露光する露光装置において、設定された制御パラメータに応じた発光強度でパルスレーザをパルス発光させるパルスレーザ出力制御手段と、パルスレーザのパルス毎の露光量を検出する露光量検出手段と、この露光量検出手段により検出したパルス量の露光量を積算する露光量積算手段と、積算された露光量から残露光量とその残パルス平均エネルギを演算する演算手段とを具備し、残露光量の1パルス当たりの平均エネルギと前露光時の1パルス露光量とをパルス毎に比較し、次露光時の1パルス露光量が前記平均エネルギに一致するようにパルスエネルギ出力制御手段により制御パラメータを変化させることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00

FI (3件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-179357
  
• 特開平2-135723