特許

J-GLOBAL ID：200903062686573436

ポジ型感光性組成物

発明者： 浦野 年由 ,  新実 高明 ,  塚本 美智徳 ,  落合 為一
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206066
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054436
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、ディープUV領域において高い感度を有し、かつ、露光後の感度及び画質の経時変化が少なく、さらに、定在波の発生がないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 上記課題は、下記共重合体(A)、下記化合物(B)及び光酸発生剤を含有するポジ型感光性組成物によって達せられる。(A)下記一般式(1)で表される構成単位及び下記一般式(2)で表される構成単位を含有する共重合体。【化1】(B)下記一般式(3)で表されるフェノール化合物と2,3-ジヒドロピランの付加物。【化2】(式中、R1 、R2 、R3 及びR4 は、各々独立にハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基またはアラルキル基であり、a及びbは各々独立に0〜4の範囲の正数である。また、R3 及びR4 は、これらを含むフルオレン環を形成していてもよい。)

請求項（抜粋）：

下記共重合体(A)、下記化合物(B)及び光酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(A)下記一般式(1)で表される構成単位及び下記一般式(2)で表される構成単位を含有する共重合体。【化1】(B)下記一般式(3)で表されるフェノール化合物と2,3-ジヒドロピランの付加物。【化2】(式中、R1 、R2 、R3 及びR4 は、各々独立にハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基またはアラルキル基であり、a及びbは各々独立に0〜4の範囲の正数である。また、R3 及びR4 は、これらを含むフルオレン環を形成していてもよい。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (5件)

• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352756   出願人：和光純薬工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340981   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 遠紫外線用レジスト組成物及びこれを用いた微細パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-083199   出願人：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
• 化学増幅型感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-291521   出願人：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-068630   出願人：富士写真フイルム株式会社