特許
J-GLOBAL ID：200903062686697909
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191928
公開番号（公開出願番号）：特開平7-018446
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 炉内での温度検出精度を低下させないようにすることのできる温度検知構造を備えた熱処理装置を提供すること。【構成】 縦型プロセスチューブ10の周囲に配置された筒状の断熱材34と、断熱材34の内壁面上にて周方向に間隔をおいてそれぞれ縦方向に延び、折返し部が上下に交互に形成されることで連続する発熱抵抗体30と、上記発熱抵抗体30の温度を検出する検出部40,44とを有し、検出部40,44は、断熱材34を貫通してその内部に突出した先端部40が、周方向で隣接する上記発熱抵抗体間に配置されている。従って、発熱抵抗体34が垂れ下がっても、検出部40は接触することがない。このため、検出部44の形状寸法は剛性を高める程の大きさを必要としないので、熱容量を小さくして伝達熱による熱損失を減少させて検出部先端での感知温度と出力された検出温度との間の格差を小さくすることで検出精度を低下させない。
請求項（抜粋）：
複数枚の被処理体をバッチ処理する縦型プロセスチューブと、上記縦型プロセスチューブの周囲に配置された筒状の断熱体と、上記断熱材の内壁面上にて周方向に間隔をおいてそれぞれ縦方向に延び、折返し部が上下に交互に形成されることで連続する発熱抵抗体と、上記発熱抵抗体の温度を検出する検出部と、を有し、上記検出部は、上記断熱材を貫通してその内部に突出した先端部が、周方向で隣接する上記発熱抵抗体間に配置されることを特徴とする熱処理装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, H01L 21/22 511
, H01L 21/324
, H05B 3/64
