特許
J-GLOBAL ID：200903062688187320
電子エネルギー損失同時検知器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165720
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021967
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 電子エネルギー損失同時検知器において、電子の照射による検知器の破損を防止するための減衰器の設置位置を最適化する。【構成】 透過電子顕微鏡とフォーカス用磁場4重極レンズ18と扇形磁場10と分散ズーム用磁場4重極レンズ11と平面検知器12の構成による電子エネルギー損失同時検知器において、フォーカス用磁場4重極レンズ18の前に分散方向に対して垂直方向に偏向する偏向器13を設置し、分散ズーム用磁場4重極レンズ11の近傍に偏向された電子を除去するスリット15を配置する。【効果】 偏向器を平面検知器から遠ざけることにより、偏向場を弱くできる。そのために偏向場による検知器への外乱や散乱電子によるノイズが低減できる。また装置がコンパクトに設計でき、組立や保守が容易になる。
請求項（抜粋）：
試料を透過した電子ビームの一部を透過させる絞りと、絞りを透過した電子のエネルギー損失を分析する扇形電磁石と、扇形電磁石の形成する磁場によって分散された電子ビームを同時に検知する平面検知器とを備え、前記絞りと扇形電磁石の間に、扇形電磁石による電子ビームの偏向方向とほぼ垂直な方向に電子ビームを電場によって偏向する偏向板を設置したことを特徴とする電子エネルギー損失同時検知器。
IPC (3件)：
H01J 37/26
, G01T 7/00
, H01J 37/147
