特許

J-GLOBAL ID：200903062697134264

ポリイミドのエッチング液およびその使用方法

発明者： 濱田 直之 ,  諸井 長広 ,  丸田 順道
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020971
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234870
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 剛直な主鎖構造を持つ低熱膨張性ポリイミドあるいは含フッ素ポリイミドを、加工深さ20μm以上の実用的な湿式加工を可能とする新規なエッチング液およびその使用方法を提供することにある。【構成】 5〜20wt%の水酸化第四アンモニウムと10〜60wt%のアミノアルコールと20〜80wt%のアルコールを必須成分とするエッチング液およびその使用方法。

請求項（抜粋）：

5〜20wt%の水酸化第四アンモニウムと10〜60wt%のアミノアルコールと20〜80wt%のアルコールを必須成分とすることを特徴とするポリイミドのエッチング液。

IPC (2件)：

C08J 7/00 CFG ,  C08L 79:08