特許
J-GLOBAL ID：200903062699212327
液体材料微量供給装置とそれを使用するパターン修正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142072
公開番号（公開出願番号）：特開平8-066652
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 レジストワニスのような揮発性の高い成分と高粘度の或いは固化する成分からなる液体材料を、ピペット先端での詰まりや、ピペット先端部へのぬれ上がり付着を発生させることなく微量供給可能な液体材料微量供給装置の提供。【構成】 先端径が細く絞られた中空のピペット、ピペットを粗微動させるための駆動機構、ピペットにパルス状のガス圧を印加するための加圧機構、液体材料供給部を監視するための観察系、ピペット近傍を液体材料に含まれる揮発性成分の蒸気を含んだ雰囲気に保つ手段とからなる構成、および、前記ピペットの少なくとも先端及びその近傍の外表面に液体材料のぬれ上がり付着を防止する防止膜を形成してなる構成、並びにピペットに充填されたレジストワニスのような揮発性の高い成分を含む液体材料を、基板のパターン欠落欠陥部に任意に所定量供給して修正する方法。
請求項（抜粋）：
先端部が細径に絞られ該先端より液体材料を吐出する中空状のピペットと、該ピペットを粗・微動させるピペット駆動機構と、ピペットにパルス状のガス圧を印加する加圧機構と、前記液体材料の被供給部を監視する観察光学系とからなる液体材料のインジェクション装置と、前記液体材料が供給される基板を載置する試料ステージとを備えた液体材料微量供給装置において、前記ピペット近傍のガス雰囲気を、前記液体材料に含まれる揮発性成分の飽和蒸気圧、または該飽和蒸気圧に近似の蒸気圧の蒸気を含む雰囲気に形成する手段を備えたことを特徴とする液体材料微量供給装置。
IPC (6件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, B05D 1/26
, B05D 7/00
, H01L 21/027
, H05K 3/22
