特許

J-GLOBAL ID：200903062704403608

軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡

発明者： 美濃部 正夫 ,  白神 昇
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253111
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062636
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【構成】電界放射型電子銃を入射電子線源として用い、その定格加速電圧が40KV以下であることを特徴とする軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡。【効果】本発明によれば?@コントラストが大きいため、ポリマーアロイのように密度差の小さい多相系材料を高精細に観察することができ、?A生物、高分子等の試料の観察中でも試料の損傷が少なく安定して測定が可能であり、?B測定による試料のチャージアップが少ないので合成高分子のような絶縁体でもオージェ電子分光装置等による元素分布像の測定における可視化装置として極めて有用である、等多大なメリットを有する。

請求項（抜粋）：

電界放射型電子銃を入射電子線源として用い、その定格加速電圧が40KV以下であることを特徴とする軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡。