近接場光プローブとその作製方法、及びこれらを用いた顕微鏡、記録再生装置、微細加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321445
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141634
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】弾性定数が低く、共振周波数の高い近接場光プローブとその作製方法、及びこれらを用いた顕微鏡、記録再生装置、微細加工装置を提供する。【解決手段】カンチレバー型近接場光プローブとその作製方法、及びこれらを用いた顕微鏡、記録再生装置、微細加工装置であって、該微小開口ヘ光源からの光を導波させ、または/及び該微小開口から導入された光源からの光を導波させるための表面プラズモンポラリトン伝送路が、前記カンチレバーに設けられようにする。

請求項（抜粋）：

先端からエバネッセント光を照射または/及び検出するための微小開口と、該微小開口を自由端に支持する弾性変形可能なカンチレバーとを有する近接場光プローブであって、該微小開口ヘ光源からの光を導波させ、または/及び該微小開口から導入された光源からの光を導波させるための表面プラズモンポラリトン伝送路が、前記カンチレバーに設けられていることを特徴とする近接場光プローブ。

IPC (3件)：

G01N 13/14 , G11B 7/135 , G12B 21/06

FI (3件)：

G01N 13/14 B , G11B 7/135 A , G12B 1/00 601 C

Fターム (7件)：

5D119AA11 , 5D119AA22 , 5D119BA01 , 5D119CA06 , 5D119DA01 , 5D119DA05 , 5D119JA34

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