特許
J-GLOBAL ID：200903062708504549
分析電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165719
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021966
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 分析電子顕微鏡において、電子エネルギー損失の同時分析と、その分析部分の高倍率像観察を可能にする。【構成】 扇形電磁石11の入射側にフォーカス用磁場4重極レンズ10を、出射側に分散ズーム用磁場4重極レンズ12を設置し、平面検知器13でエネルギー損失スペクトルを同時分析する。扇形電磁石11の後方で電子ビームが偏向しない位置に固体撮像素子14を設置し、制御電源15により磁場4重極レンズ10と扇形電磁石11のコイル電流をオン・オフ切替することにより、試料の微小部分の電子エネルギー損失スペクトルの測定と、像観察を瞬時に切替えるようにする。
請求項（抜粋）：
試料の微小部分を透過した電子ビームのエネルギー損失を分析する扇形電磁石と、扇形電磁石の入射側前方に設置された収束作用を持つ磁場4重極レンズと、扇形電磁石の出射側後方に設置された分散を可変する磁場4重極レンズと、前記扇形電磁石及び前記磁場4重極レンズを制御する制御電源と、エネルギー分散された電子ビームを同時に検知する平面検知器とを有し、扇形電磁石による電子エネルギー分析用の磁場を印加しない試料の分析部分の像観察時に電子ビームが進行する扇形電磁石の後方位置に、試料の分析部分の透過電子像を撮像する固体撮像素子を配置した電子エネルギー損失分析電子顕微鏡。
IPC (2件)：
前のページに戻る
