特許
J-GLOBAL ID：200903062718857598
ネガ型感光性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148891
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258798
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】安全作業性、作業効率、製品の品質安定性に優れたネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】最大波長が500〜620nmの範囲内にある比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するネガ型感光性樹脂組成物であり、該組成物が光硬化性樹脂、光反応開始剤、及び必要に応じて光増感色素とを含有した液状もしくは固形状樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の範囲から選ばれた最大波長の-30nm〜+30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
最大波長が500〜620nmの範囲内にある比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するネガ型感光性樹脂組成物であり、該組成物が光硬化性樹脂、光反応開始剤、及び必要に応じて光増感色素とを含有した液状もしくは固形状樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の範囲から選ばれた最大波長の-30nm〜+30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/038 501
, C08L 63/00
, C08L101/00
, C09D201/00
, G03F 7/028
, H05K 3/00
, H05K 3/06
G03F 7/038 501
, C08L 63/00 Z
, C08L101/00
, C09D201/00
, G03F 7/028
, H05K 3/00 F
, H05K 3/06 H
