特許
J-GLOBAL ID：200903062719288007
透過放射型X線管およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371002
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306533
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、X線透過窓板とターゲット薄膜との間の界面剥離を未然に防止し、信頼性の高い透過放射型X線管およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 この発明は、真空容器33の一部に気密接合されたベリリウム製のX線透過窓板37と、このX線透過窓板の真空側の面に付着されX線を発生するタングステン製のターゲット薄膜40との間に、銅、クロム、鉄、或いはニッケル等から選択された少なくとも1つの金属元素またはそれを主体とする材料からなる少なくとも1層の中間薄膜39をスパッタリング等の物理的蒸着法で成膜したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空容器の一部に気密接合されたベリリウム製のX線透過窓板と、このX線透過窓板の真空側に設けられX線を発生するタングステンまたはタングステンを主体とする合金からなるターゲット薄膜と、前記X線発生用ターゲット薄膜に照射する電子ビームを発生する陰極構体とを具備し、上記X線発生用ターゲット薄膜から発生するX線を上記X線透過窓板を通して外部に放射させる構造の透過放射型X線管において、前記X線透過窓板と前記X線発生用ターゲット薄膜との間に、少なくとも1つの金属元素または該金属元素を主体とする材料からなる少なくとも1層の中間薄膜が前記X線透過窓板およびX線発生用ターゲット薄膜にそれぞれ密着して設けられていることを特徴とする透過放射型X線管。
IPC (3件)：
H01J 35/08
, H01J 9/14
, H01J 35/18
H01J 35/08 F
, H01J 35/08 E
, H01J 9/14 M
, H01J 35/18
