特許

J-GLOBAL ID：200903062740021053

光源装置及び光照射装置

発明者： 河井 斉 ,  村松 研一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-162004
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350914
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 210nm以下の波長を有する光を、簡単な構成で、効率良く発生する。【解決手段】 波長1050nm以下の光を基本波として、非線形光学素子181,182,183を順次介させて、第2高調波発生又は和周波発生により段階的に波長変換し、基本波の5倍波(波長210nm以下)を発生する。この結果、非線形光学効果による第2高調波発生や和周波発生を利用して、波長変換の段数を3段とし、かつ、和周波発生段の数を最小の1段として、波長が210nm以下の紫外光を発生することができる。

請求項（抜粋）：

210nm以下である第1の波長の紫外光を発生する光源装置であって、1050nm以下である第2の波長の赤外域又は可視域の光を発生する基本波発生部と;前記基本波発生部から射出された光を基本波として、前記第1の波長を有する前記基本波の5倍波を発生する波長変換部と;を備える光源装置。

IPC (6件)：

G02F 1/37 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10

FI (6件)：

G02F 1/37 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01L 21/30 515 A

Fターム (29件)：

2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA03 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002EA07 ,  2K002FA27 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  5F046CA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB22 ,  5F072AB07 ,  5F072AB13 ,  5F072AB20 ,  5F072AK06 ,  5F072FF09 ,  5F072HH06 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK12 ,  5F072PP07 ,  5F072YY09