特許
J-GLOBAL ID：200903062744285721
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340432
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152389
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 プローブカードの測定精度を高める。【構成】 プローブカード基板1に、発熱体5bと温度センサー6bを設け、プローブカードの温度を試料の測定条件温度に設定するようにするとともに、予め、温度変化よるプローブ針先の位置変動を見込んでプローブ針2をプローブカード基板1に取りつけておく。【効果】 プローブ針のプローブカード基板に対する位置が正確に制御されるとともに、試料の温度が安定し、高精度の測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
プローブ針を試料に接触させることにより、所定の測定条件温度下での試料の特性評価を行うプローブカードにおいて、プローブカードの温度を前記試料の測定条件温度と同じ温度に設定する温度設定手段と、上記設定温度において、その先端が所定位置に配置されるようにプローブカード基板に固定されたプローブ針とを備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
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