特許

J-GLOBAL ID：200903062749240122

ウエハ加熱装置

発明者： 触 浩 ,  田中 智
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018078
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210450
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、発熱抵抗体と導通端子とをロウ材層を介して接続すると、熱膨張率差によりロウ材層の外周面に引っ張り応力が掛かり、ロウ材層周辺の均熱板が疲労してクラックが発生するという課題があった。【解決手段】上記ウエハ加熱装置において、均熱板の給電部に導通端子を押圧して接触させる。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記給電部に導通端子を押圧して接触させたことを特徴とするウエハ加熱装置。

IPC (7件)：

H05B 3/02 ,  H01L 21/027 ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 328 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (7件)：

H05B 3/02 B ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 328 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/30 567 ,  H01L 21/302 B

Fターム (29件)：

3K034AA02 ,  3K034AA04 ,  3K034AA16 ,  3K034BA06 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC12 ,  3K034BC17 ,  3K034CA02 ,  3K034EA04 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QC02 ,  3K092QC22 ,  3K092RF03 ,  3K092RF22 ,  3K092RF27 ,  3K092VV31 ,  5F004AA16 ,  5F004BB18 ,  5F004BB26 ,  5F004BC08 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EK08 ,  5F046KA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ホットプレートユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-080987   出願人：イビデン株式会社
• 面状発熱体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-038709   出願人：松下電器産業株式会社
• PTCヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-310487   出願人：松下電器産業株式会社
• 加熱ユニットおよびその接続方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-357979   出願人：信越化学工業株式会社
• 加熱ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-093723   出願人：株式会社クラベ