感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142318
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327138
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】レジスト剥離性、解像力、細線密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、光重合開始剤(C)、可塑剤(D)(特にp-トルエンスルホンアミド)及び染料(E)からなる感光性樹脂組成物において、ベースポリマー(A)として重量平均分子量5万〜7万の共重合体(a1)と重量平均分子量7万を越え10万以下の共重合体(a2)を含み、かつ(a1)と(a2)の少なくとも1つは酸価が130mgKOH/g以上であり、更に光重合開始剤(C)としてロフィン二量体(c1)(好ましくは更にアクリジン誘導体(c2))を含む感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

ベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、光重合開始剤(C)、可塑剤(D)及び染料(E)からなる感光性樹脂組成物において、ベースポリマー(A)として重量平均分子量5万〜7万の共重合体(a1)と重量平均分子量7万を越え10万以下の共重合体(a2)を含み、かつ(a1)と(a2)の少なくとも1つは酸価が130mgKOH/g以上であり、更に光重合開始剤(C)としてロフィン二量体(c1)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/033 , C09D 5/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/031 , H01L 21/027 , C09D 4/06

FI (8件)：

G03F 7/033 , C09D 5/00 C , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/031 , C09D 4/06 , H01L 21/30 502 R

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