特許

J-GLOBAL ID：200903062756258010

光強度測定装置

発明者： 渡邉 広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-032595
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232678
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】 小型化が可能で、しかも常に安定した精度の高い光強度測定を実現することができる光強度測定装置を提供する。【解決手段】 Xeフラッシュランプを有する光源部16からの光を照射光学系9を介して被エッチング基板5に照射し、この被エッチング基板5からの反射光をセンサー部15の分光器21および積分回路23を介し光強度変化信号として検出するとともに、信号処理し、その後、演算器11で所定の演算を行うようにしたもので、Xeフラッシュランプを有する光源部16とセンサー部15とを一体的に構成した。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの間欠点灯光源と、被検体を照射するための光照射手段と、前記被検体からの反射光を測定する光検出器と、前記光検出器で検出した光強度変化信号を処理する信号処理手段と、前記信号処理手段で処理された信号を演算する演算手段とを具備し、少なくとも1つの前記間欠点灯光源と前記光検出器とを一体的に構成したことを特徴とする光強度測定装置。

IPC (4件)：

G01J 1/42 ,  G01B 11/06 ,  G01J 1/44 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

G01J 1/42 N ,  G01J 1/42 F ,  G01B 11/06 Z ,  G01J 1/44 C ,  H01L 21/302 103

Fターム (22件)：

2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065CC17 ,  2F065FF41 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL68 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ03 ,  2G065AA04 ,  2G065AB17 ,  2G065BA18 ,  2G065BB02 ,  2G065BB25 ,  2G065BC08 ,  2G065DA15 ,  5F004AA01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004CB02