特許
J-GLOBAL ID：200903062761436547
プラズマリアクタの加熱静電チャックのための高AC電流、高RF電力なAC-RF分離フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安齋 嘉章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-154064
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034812
出願日： 2007年06月11日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】平行平板型エッチング装置の下部電極に印加するRF電源から基板加熱ヒータを通じてRF接地部に流れるRF電流をブロックするRFブロックフィルタを提供する。【解決手段】RFブロックフィルタ42,46は、二相AC電力供給部40,44を、抵抗性加熱要素にリアクタンス結合されたHF周波数の少なくとも2kVp-pの電力から分離すると共に、二相AC電力供給部40,44からの60Hzの数kWのAC電力をオーバーヒートなしに抵抗性加熱要素に導き、二相AC電力供給部は1対のターミナルを有し、前記抵抗性加熱要素は1対のターミナルを有する。フィルタは、1対の円筒状非伝導性エンベロープと、対の円筒状エンベロープの各々内で同軸的に重ねられた約10のオーダーの透磁率の複数の溶融鉄粉トロイドを備え、トロイドの外径は前記エンベロープの各々の内径とほぼ同一である。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
二相AC電力供給部を、抵抗性加熱要素にリアクタンス結合されたHF周波数の少なくとも2kVp-pの電力から分離すると共に、前記二相AC電力供給部からの60Hzの数kWのAC電力をオーバーヒートなしに抵抗性加熱要素に導くフィルタであって、前記二相AC電力供給部は1対のターミナルを有し、前記抵抗性加熱要素は1対のターミナルを有しており、
前記フィルタは、
約1〜2インチの内径を有する1対の円筒状非伝導性エンベロープと、
前記対の円筒状エンベロープの各々内で同軸的に重ねられた約10のオーダーの透磁率の複数の溶融鉄粉トロイドを備え、前記トロイドの外径は前記エンベロープの各々の内径とほぼ同一であり、
各々の前記エンベロープで約16〜24の範囲の巻数の各々のインダクタコイルを形成するため、前記対のエンベロープの対応部の周りに螺旋状に巻回された3mm〜3.5mmの直径の1対のワイヤ伝導体を備え、前記伝導体の各々は入力端部と出力端部を有し、前記導電体の各々の入力端部は前記二相AC電力供給部の対のターミナルの対応部に連結され、前記伝導体の各々の出力端部は前記抵抗性加熱要素のターミナルの対の対応部に連結され、
前記対の伝導体の各々の入力端部と接地部との間に連結された1対のコンデンサを備え、前記コンデンサの各々は、前記HF周波数より少なくとも数MHz高い共鳴周波数において、前記インダクタの対応部のインダクタンスと共鳴するキャパシタンスを有し、これによって前記フィルタは前記HF周波数において誘導性リアクタンスを示し、前記HF周波数において60dB以上のRF減衰を有するフィルタ。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, H01L 21/683
H01L21/302 101B
, H01L21/68 R
5F004BA04
, 5F004BB12
, 5F004BB13
, 5F004BB22
, 5F004BB26
, 5F004CA03
, 5F031CA02
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031HA19
, 5F031MA28
