特許

J-GLOBAL ID：200903062777557590

基板搬送装置、基板処理装置および搬送基準位置教示方法、ならびにこれらに用いるセンサ治具

発明者： 枝本 信雄
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173885
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011966
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】基板搬送装置の制御部に対して基板の搬送の際の基準となる位置を正確に自動教示することができ、かつ、その自動教示の際のオペレータの負担をより軽減する。【解決手段】スピンチャック1のスピンベース11上に配置治具3が配置されて、その配置治具3に形成されている被検出突起32の中心位置Aの座標が求められる。その後、スピンチャック1が180°回転され、その回転後の被検出突起32の中心位置A’の座標が求められる。そして、回転前後の中心位置A,A’の座標に基づいて、スピンチャック1の回転中心位置Cの座標が演算される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の基準位置を基準として基板を搬送する基板搬送装置であって、 基板を保持して移動可能なアームと、 このアームの動作を制御するためのアーム制御手段と、 上記アームに設けられ、上記基準位置の近傍の所定領域内に配置された被検出部を検出するための検出手段と、 上記所定領域内に被検出部が配置されている初期状態において、上記アームを移動させて、上記検出手段によって被検出部を検出し、これに基づいて当該初期状態における被検出部の位置情報を取得する初期位置情報取得手段と、 上記初期状態から上記基準位置を中心に被検出部が所定角度回転した状態において、上記アームを移動させて、上記検出手段によって被検出部を検出し、これに基づいて当該回転後の状態における被検出部の位置情報を取得する回転後位置情報取得手段と、 上記初期位置情報取得手段によって取得された位置情報と上記回転後位置情報取得手段によって取得された位置情報とに基づいて、上記基準位置の位置情報を取得する基準位置情報取得手段と、 この基準位置情報取得手段によって取得された上記基準位置の位置情報を上記アーム制御手段に教示する基準位置情報教示手段と を含むことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  B25J9/22

FI (4件)：

H01L21/68 F ,  H01L21/68 A ,  B25J9/22 A ,  B25J9/22 Z

Fターム (33件)：

3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007BT11 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007JU08 ,  3C007JU09 ,  3C007KS03 ,  3C007KV12 ,  3C007KX07 ,  3C007LS01 ,  3C007NS03 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031JA05 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA37 ,  5F031KA18 ,  5F031KA20 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24