特許
J-GLOBAL ID：200903062786225885
マス型フィルタ構造による固体撮像素子及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320024
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163462
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 感度ムラや画像ムラを低減し、かつ高感度で小型化可能な固体撮像素子及び製造方法を提供する。【解決手段】 CCDを含む固体撮像素子において受光部のフォトシールド(遮光膜)8上層部に、ユニットセル区画ごとに格子状のマス型に形成されたメタル薄膜11を備え、各マス型メタル薄膜11の内部に各カラーフィルタ13を配設し、さらに上層に各マイクロレンズ14を形成させる。
請求項（抜粋）：
CCDを含む固体撮像素子において受光部のフォトシールド(遮光膜)上層部に、ユニットセル区画ごとに格子状のマス型に形成されたメタル薄膜を備え、前記マス型メタル薄膜の内部にカラーフィルタを配設したことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
