特許

J-GLOBAL ID：200903062791799288

テーブル装置

発明者： 明野 公信 ,  安田 聡
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253194
公開番号（公開出願番号）：特開平10-094926
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】駆動系の交換周期をより長くしてメンテナンスコストを軽減でき、しかも高精度な運動が得られるテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブルガイド102と、このテーブルガイドにガイドされて所定方向103に移動自在に配置されたテーブル本体104と、一端側がテーブル本体104に連結されてテーブル本体104に前記所定方向の移動力を伝達するロッド105と、このロッド105を互いで挾持するように配置された第1および第2のローラ107,108と、一方のローラ107を回転駆動してロッド105を移動させる回転駆動手段109とを備えてなるテーブル装置において、テーブル本体104とロッド105との間に設けられてテーブル本体104に対するロッド105の中心軸回りに関する連結角度を可変する連結角度可変機構110を備えている。

請求項（抜粋）：

テーブルガイドと、このテーブルガイドにガイドされて所定方向に移動自在に配置されたテーブル本体と、一端側が前記テーブル本体に連結されて上記テーブル本体に前記所定方向の移動力を伝達する移動力伝達体と、この移動力伝達体を互いで挾持するように配置された第1および第2のローラと、これらローラのいずれか一方のローラを回転駆動して前記移動力伝達体を移動させる回転駆動手段とを備えてなるテーブル装置において、前記テーブル本体と前記移動力伝達体との間に設けられて上記テーブル本体に対する上記移動力伝達体の中心軸回りに関する連結角度を可変する連結角度可変機構を備えてなることを特徴とするテーブル装置。

IPC (3件)：

B23Q 1/44 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B23Q 1/14 Z ,  G01B 11/00 Z ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 1/18 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

• キャプスタン送り機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-344294   出願人：富士通株式会社
• 特開平4-063649
  
• 特開昭62-084949
  
• 特開昭60-249545
  

審査官引用 (1件)

• キャプスタン送り機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-344294   出願人：富士通株式会社