特許

J-GLOBAL ID：200903062794254398

ワイヤボンディング装置及び該装置に装備されるべきボンディングアーム

発明者： 三好 秀明
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172040
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017874
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 ボンディングツールに対する超音波エネルギーの伝達効率の増大を達成し、しかも、これを安価にて実現したワイヤボンディング装置及びボンディングア-ムを提供すること。【構成】 ボンディングアームの一部を構成するホーン1にキャピラリ(ボンディングツール)4を挿通すべく形成された挿通孔について、ゴシックアーチ形断面形状とし、以て上記の効果を得ている。

請求項（抜粋）：

ボンディングツールが装着されたボンディングアームを作動させることによって該ボンディングツールをボンディング対象に対して近接させると共に、超音波励振手段が発する超音波振動を該ボンディングアームを介して該ボンディングツールに伝達して励振させるワイヤボンディング装置において、前記ボンディングツールは少なくとも前記ボンディングアームに対する接合部が略円筒状に形成され、これに対応して、前記ボンディングアームの該ボンディングツールとの接合部は該ボンディングツールが挿通される挿通孔となされ、該挿通孔は、各々前記ボンディングツールの接合部の半径よりも大なる曲率半径を以て形成され且つ隣接するもの同士が互いに交差するように配設されてなる少なくとも4面の接合面を有するゴシックアーチ形断面形状となされていることを特徴とするワイヤボンディング装置。