CoCr系下地膜用ターゲット及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-274854
公開番号（公開出願番号）：特開2000-104160
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】鋳造法-塑性加工を適用する上で問題であった、熱間加工性を高め、酸素量を低減できる量産性に優れたCoCr系下地膜用ターゲットおよびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、Cr30〜55[重量%]を含有し、O0.01[重量%]以下、かつC0.1[重量%]以下で、残部が実質的にコバルトからなり、塑性加工組織を有するCoCr系下地膜用ターゲットである。また、上述した本発明のターゲットは、上述した組成を有する鋼塊を900〜1380°Cの温度範囲で10%以上の熱間加工を施す本発明の製造方法によって得ることができる。

請求項（抜粋）：

Cr29〜55[重量%]を含有し、O0.01[重量%]以下、かつC0.1[重量%]以下で残部が実質的にCoからなり、塑性加工組織を有することを特徴とするCoCr系下地膜用ターゲット。

IPC (13件)：

C23C 14/34 , C22C 19/07 , C22C 20/00 , C22C 27/06 , C22F 1/10 , G11B 5/66 , C22F 1/00 622 , C22F 1/00 630 , C22F 1/00 660 , C22F 1/00 661 , C22F 1/00 694 , C22F 1/00 , G11B 5/84

FI (13件)：

C23C 14/34 A , C22C 19/07 M , C22C 20/00 , C22C 27/06 , C22F 1/10 J , G11B 5/66 , C22F 1/00 622 , C22F 1/00 630 K , C22F 1/00 660 B , C22F 1/00 661 D , C22F 1/00 694 A , C22F 1/00 694 B , G11B 5/84 Z

Fターム (18件)：

4K029BA21 , 4K029BA24 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC08 , 4K029DC09 , 5D006CA01 , 5D006DA03 , 5D006EA03 , 5D006FA09 , 5D112AA03 , 5D112AA24 , 5D112BD04 , 5D112FB06 , 5D112GB01 , 5D112GB04

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