特許

J-GLOBAL ID：200903062813467993

ワイヤボンダ用超音波ホ-ン

発明者： 佐藤 武雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-178216
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021163
出願日： 1992年07月06日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】複雑な調整を要することなく容易に取付けることができると共に、安定した超音波振動特性を有するワイヤボンダ用超音波ホ-ンを提供する。【構成】超音波ホ-ンは少なくともフランジ3を有するホ-ン部とホルダ8とか構成される。フランジ3は直径方向にガイドする直径方向ガイド面9と、軸方向にガイドする軸方向ガイド面10及び回転方向にガイドする回転方向ガイド面11とを有している。このような形状のフランジ3を有するホ-ン部2はホルダ8へ、ホルダ8に設けられたピン13に回転方向ガイド面11を合わせるようにフランジ3をホルダ8にはめ込み、複数個の取付け穴12にボルト14等により固定される。

請求項（抜粋）：

ボンディングツ-ルを有するホ-ン部と、ホルダに取付けられ振動板を介して上記ホ-ン部を支持するフランジ構造とを有するホ-ン部とを具備するワイヤボンダ用超音波ホ-ンにおいて、上記フランジは、上記ホ-ン部を上記ホルダに取り付ける際の直径方向、軸方向及び回転方向における位置決めとなるガイド面それぞれ有することを特徴とするワイヤボンダ用超音波ホ-ン。