特許
J-GLOBAL ID：200903062816997470
透明基板の位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121861
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306009
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】複数の透明基板の相対的な位置関係を正確に把握して、高精度に位置合わせするようにする。【構成】上ガラス基板と下ガラス基板には、それぞれフォーカスマークと基準位置マークとを備えた位置合わせマークを付して、マークを認識する撮像部の焦点を移動させる(ステップS101)。入力される画像データは、上ガラス基板のフォーカスマーク方向で微分処理を行って輪郭を抽出し、2値化してから濃度分布をとり、輝度が最大となる焦点位置を合焦位置とする。この合焦位置を上ガラス基板の焦点として、基準位置マークの位置を把握する(ステップS105)。下ガラス基板の場合も同様に焦点位置を把握して、下ガラス基板の基準位置マークの位置を把握する。これら上下基板の各マーク位置に基づいて位置ずれ量を検出し、上下ガラス基板を相対的に移動させて、位置合わせする。
請求項（抜粋）：
複数の透明基板にそれぞれ異なる位置合わせマークを付す工程と、前記位置合わせマークを付した透明基板を重ねて各透明基板の位置合わせマーク毎に焦点を合わせる工程と、焦点を合わせたそれぞれの透明基板の位置合わせマークの位置を認識する工程と、各透明基板の位置合わせマークの位置に基づいて透明基板同士の位置ずれ量を検出する工程と、その検出した位置ずれ量に基づいて各透明基板を相対的に移動させる工程と、を有することを特徴とする透明基板の位置合わせ方法。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 505
, G06T 7/00
