特許

J-GLOBAL ID：200903062823639814

プラズマ処理装置及び炭素被覆形成プラスチック容器の製造方法

発明者： 阿部 隆夫 ,  山越 英男 ,  団野 実
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (5件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-140810
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043789
出願日： 2003年05月19日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】装置の簡略化、操作方法の簡略化、作業時間の短縮、より均一な炭素被膜の形成などが可能な、高周波プラズマを利用してプラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置及び炭素被覆形成プラスチック容器の製造方法を提供する。【解決手段】炭素被膜を形成するプラスチック容器の外形とほぼ相似形でその内側に前記プラスチック容器を設置可能な大きさの外部コイル状電極と、該外部コイル状電極内にプラスチック容器を設置した際に該容器の口金部に相当する位置に開口し容器内に媒質ガスを供給する媒質ガス供給口と、ガス供給手段とガス排気手段を備えた外部コイル状電極を収納する真空容器と、外部コイル状電極に接続した整合器及び高周波電源とを構成要素として含む。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

炭素被膜を形成するプラスチック容器の外形とほぼ相似形でその内側に前記プラスチック容器を設置可能な大きさの外部コイル状電極と、該外部コイル状電極内に前記プラスチック容器を設置した際に該容器の口金部に相当する位置に開口し容器内に媒質ガスを供給する媒質ガス供給口と、ガス供給手段とガス排気手段を備えた前記外部コイル状電極を収納する真空容器と、前記外部コイル状電極に接続した整合器及び高周波電源とを構成要素として含むことを特徴とするプラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置。

IPC (3件)：

C08J7/00 ,  C23C16/26 ,  H05H1/46

FI (4件)：

C08J7/00 306 ,  C08J7/00 ,  C23C16/26 ,  H05H1/46 L

Fターム (22件)：

3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AC02 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB24 ,  3E062JD01 ,  4F073AA17 ,  4F073BA24 ,  4F073BB03 ,  4F073CA05 ,  4F073CA07 ,  4F073DA08 ,  4F073HA02 ,  4F073HA03 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030CA07 ,  4K030CA15 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030LA24